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多晶硅爐用BROOKS流量計

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型號︰SLA5851S
品牌︰BROOKS
原產地︰美國
單價︰-
最少訂量︰1 件

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產品描述

上海網磁電子有限公司專業供應美國原裝、全新
的質量流量計-MFC,BROOKS。專業用於製造
單晶硅爐和多晶硅爐設備上面使用,適用的氣體
有氮氣、氬氣、氫氣、氧氣等純淨氣體。
氣體的 量程:50-120SLM,數字和模擬兼容
電氣接口:D型15針 管道接口:3/8"VCR
交貨週期:4周左右,長期訂貨,週期還會短。
可以完全替代和兼容MKS的相關流量計。 
 全線代理韓國TK的各種接頭、閥門、不鏽鋼管,歡迎洽談。              
Analog I/O Option:
• 15-pin D-Connector
• 0(1)-5 Volt or 0(4)-20 mA setpoint and flow signals
• Single sided 24 Volt DC power supply
(13.5-27 volts DC range).
• Separate Valve-Override signal
• Precision 5 Volt Reference Output signal
• Compatible with Brooks' Model 0150 series
secondary electronics
• TTL (open collector) Alarm Output signal
Digital Communication Options:
• DeviceNetTM, ODVATM certified
• FOUNDATIONTM Fieldbus, H1 Certified
• HART® based RS-485 multidrop
產品圖片






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