產品描述
上海網磁電子有限公司專業供應美國原裝、全新
的質量流量計－MFC,BROOKS。專業用於製造
單晶硅爐和多晶硅爐設備上面使用，適用的氣體
有氮氣、氬氣、氫氣、氧氣等純淨氣體。
氣體的 量程：50－120SLM,數字和模擬兼容
電氣接口：D型15針 管道接口：3/8"VCR
交貨週期：4周左右，長期訂貨，週期還會短。
可以完全替代和兼容MKS的相關流量計。
全線代理韓國TK的各種接頭、閥門、不鏽鋼管，歡迎洽談。
Analog I/O Option:
• 15-pin D-Connector
• 0(1)-5 Volt or 0(4)-20 mA setpoint and flow signals
• Single sided 24 Volt DC power supply
(13.5-27 volts DC range).
• Separate Valve-Override signal
• Precision 5 Volt Reference Output signal
• Compatible with Brooks' Model 0150 series
secondary electronics
• TTL (open collector) Alarm Output signal
Digital Communication Options:
• DeviceNetTM, ODVATM certified
• FOUNDATIONTM Fieldbus, H1 Certified
• HART® based RS-485 multidrop
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